配 置

MT-200

MT-300

MT-400

測(cè)量范圍(mm)

X

200

300

400

Y

150

200

300

Z

150

150

150

工作臺(tái)
(mm)

鋁合金臺(tái)面

400*280

500*350

600*500

玻璃臺(tái)面

245*192

350*250

450*350

承 重

15Kg

影像及
測(cè)量系統(tǒng)

CCD

630萬 1/1.8"高分辨率彩色相機(jī)/HDMI智能量測(cè)相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

三目觀察筒

三目觀察筒（分光比50：50），0.65X CTV接口

目鏡

PL10X/22平場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡（其中1只十字刻度）

物 鏡

5X物鏡（明場(chǎng)半導(dǎo)體物鏡）， 5X/0.15    WD  44mm

10X物鏡（明場(chǎng)半導(dǎo)體物鏡），10X/0.3    WD  34mm

20X物鏡（明場(chǎng)半導(dǎo)體物鏡），20X/0.35   WD  29mm

50X物鏡（明場(chǎng)半導(dǎo)體物鏡），50X/0.5    WD  17mm

顯示分辨率

0.001mm

測(cè)量精度

X/Y軸

（3+L/200）um

Z軸(選配)

（5+L/200）um

重 復(fù) 性

2um

調(diào)焦系統(tǒng)

手 動(dòng)

Z軸行程150mm，

粗微調(diào)同軸，左右手柄（粗調(diào)：40mm/圈、微調(diào)：0.02mm/圈）

照明系統(tǒng)

反射：柯勒照明系統(tǒng)，5W白色LED

透射：5W白色LED，

偏光裝置

直偏、檢偏器

臺(tái)式電腦

8G/500G/DVD/鍵鼠/+21.5液晶顯示器

測(cè)量軟件

二維幾何量測(cè)量功能主要包括：兩點(diǎn)間距離、點(diǎn)到直線的距離、角度、圓心距；十字線顯示，

校正片

0.01mm

電 源

90～240V電壓，50HZ

儀器重量

320Kg、

可供附件

0.5X CTV接口

DIC微分干涉片

100X物鏡（明場(chǎng)無限遠(yuǎn)），   100X/0.80    WD2.1mm選配